1878年Robert Barnstead開發了第一臺全金屬實驗室蒸餾水器。利用對原水進行物理加熱的方式，取獲蒸餾后的純水，用于實驗室的基礎實驗。
一次蒸餾水的電阻率指標通常為0.2兆，經過再次蒸餾后可以達到1兆以上。這些都是在原水條件穩定且水質可滿足市政自來水標準的前提下獲得的經驗值，而通常蒸餾水器的廠家不會承諾這個指標。
因為經過高溫處理，蒸餾水的熱源指標較好，但帶來的負面因素是加熱對實驗室環境的影響。石英蒸餾水器一般的功率為1-5KW，而不銹鋼制蒸餾水器的功率達10KW以上，這種獲取純水的方式是極其耗能的。
另外如果在蒸餾過程中補水不足，蒸餾水器還可能出現爆炸失火的安全隱患。
客戶一般制取蒸餾水后會儲存在水桶中，但基本沒有客戶會對容器進行階段消毒處理，儲存的純水極易二次污染，而長時間不流動的純水，TOC指標也會越來越高。蒸餾水能去除自來水內大部分的污染物，但揮發性的雜質無法去除，如二氧化碳、氨以及一些有機物。
      蒸餾水曾是實驗室最常用的純水。其設備價格低廉，但極其耗能，費水費電，產水速度慢，水質不高、水質不穩定等弊端，并不能滿足日漸精益求精科研實驗的用水需求。同時還存在缺水爆炸的安全隱患，應用正逐漸減少。
隨著RO技術的逐漸成熟，純水機已逐漸取代傳統的蒸餾器，以廈門銳思捷水純化技術有限公司生產的SPRING初/中級純水機為例，雙級RO的產水指標可穩定>0.2兆，優于國家實驗室三級水標準，與一次蒸餾水的電阻率指標基本一致，但穩定性可以得到保證。
     另外此系列設備的功率只有50-100W，回收率一般在25-35%之間，相比蒸餾水器幾千瓦的功率，大大降低了運行成本。
做為一臺實驗室儀器設備，本身自帶的缺水保護、斷電保護、水質監測等功能保證了安全性能。另外全密閉的壓力儲水桶做為儲存容器還解決了純水二次污染問題。
而精確度在2%以內的定量取水功能體現了人性化設計，可與超純水系統、生化儀、清洗機等需要進初級純水的設備實現直接對接，一方面方便了用戶的使用，一方面防止二次污染的發生。
而對于原水顆粒污染、硬度污染較嚴重的地區，還可以在設備進水口前配置除濁裝置或軟化裝置，大大增強了原水適應性。
對于有更高水質要求的客戶，還可以內置可升級水質的DI，擴大了設備的應用范圍。
      綜上，純水系統在水質穩定性，電阻率更高要求，水/電能耗，安全性，人性化，使用便捷性都遠遠超過傳統的蒸餾水器，RO工藝或RO+DI工藝的純水設備正逐步取代蒸餾器，并且一定會完全替代蒸餾器，成為滿足實驗室初級純水需求的第一選擇。